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等离子去胶机 PA（March）
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 150元/小时
预约上机
  • 150 小时
委托加工
  • 210 小时
清洗

等离子去胶机 PA（March）

型号：March AP-1000

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

用于晶圆表面清洁和活化，在刻蚀或离子注入后，去除晶圆表面残留的光刻胶薄层。

技术指标
1、晶圆尺寸：12英寸向下兼容
2、工艺气体：O2、N2、Ar
3、去胶均匀性：10%以下
4、最大功率：100-600W
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