工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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裂片机 BM
裂片机 BM

微纳加工

600元/小时
高温无氧氮气烘箱 HTONO
高温无氧氮气烘箱 HTONO

微纳加工

100元/小时
高温氧化炉 HTOF
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微纳加工

500元/小时
快速退火炉 RTP
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微纳加工

800元/小时(0.5h起约)