工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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贴膜机 MT
贴膜机 MT

微纳加工

80元/次
扩膜机 EXP
扩膜机 EXP

微纳加工

0元/小时
激光划片机 LSM
激光划片机 LSM

微纳加工

500元/小时
划片机 DS
划片机 DS

微纳加工

600元/小时
裂片机 BM
裂片机 BM

微纳加工

600元/小时
高温无氧氮气烘箱 HTONO
高温无氧氮气烘箱 HTONO

微纳加工

100元/小时
高温氧化炉 HTOF
高温氧化炉 HTOF

微纳加工

500元/小时
快速退火炉 RTP
快速退火炉 RTP

微纳加工

800元/小时(0.5h起约)