工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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磁控溅射 Sputter（DISCOVERY18）
磁控溅射 Sputter（DISCOVERY18）

镀膜

800元/小时
磁控溅射 Sputter（EXPLORER）
磁控溅射 Sputter（EXPLORER）

镀膜

800元/小时
八英寸磁控溅射 Sputter
八英寸磁控溅射 Sputter

镀膜

2000元/小时
低压化学气相沉积 LPCVD
低压化学气相沉积 LPCVD

镀膜

800元/小时
金属研磨机 MGM
金属研磨机 MGM

微纳加工

800元/小时
研磨抛光机 CMP
研磨抛光机 CMP

微纳加工

800元/小时
磨抛一体机 MP
磨抛一体机 MP

微纳加工

500元/小时
激光剥离机 LLO

微纳加工

按尺寸收费