工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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全部设备 光刻 刻蚀 镀膜 微纳加工 清洗 测试
原子力显微镜 AFM
原子力显微镜 AFM

测试

240元/小时
分选机 DS
分选机 DS

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300元/小时
光致发光光谱仪 PL
光致发光光谱仪 PL

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1400/小时
超声显微镜 SAM
超声显微镜 SAM

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600元/小时
晶圆平坦度测量仪 WGM
晶圆平坦度测量仪 WGM

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500元/片（仅委托代工）
晶圆表面缺陷检测仪 WSI
晶圆表面缺陷检测仪 WSI

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800元/片（仅委托代工）
自动光学检测 AOI
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800元/片（仅委托代工）