测试设备服务

配备国际先进的半导体测试分析设备，提供专业的测试服务

全部 样品制备 TEM分析 元素分析 X射线分析 电学测试 表面分析 光学测试
编号 设备名称 计费方式 价格 操作
SEM SEM（扫描电镜）

表面电子成像

 按时 ¥750.0 /小时 详情
SEM-MAP SEM-EDS Mapping

EDS-Mapping显微微区元素分析

 按时 ¥1000.0 /小时 详情
CL-EBIC CL/EBIC（阴极荧光/电子束诱导电流）

常温阴极荧光/电子束诱导感生电流

 按时 ¥1000.0 /小时 详情
EBSD EBSD（电子背散射衍射）

晶体取向分析

 按时 ¥2000.0 /小时 详情
AFM AFM（原子力显微镜）

表面形貌像-粗糙度

 按点 ¥300.0 /片/点 详情
AFM-H AFM（机时）

AFM高级模式

 按时 ¥600.0 /小时 详情
PFM PFM（压电力显微镜）

压电响应成像

 按时 ¥2000.0 /小时 详情
KPFM KPFM（开尔文探针力显微镜）

表面电势分布成像

 按时 ¥2000.0 /小时 详情
EFM EFM（静电力显微镜）

表面静电力分布成像

 按时 ¥2000.0 /小时 详情
CAFM CAFM（导电原子力显微镜）

局域电流分布成像

 按样 ¥3000.0 /样/图 详情
SCM SCM（扫描电容显微镜）

载流子浓度分布成像

 按样 ¥3000.0 /样/图 详情
SSRM SSRM（扫描扩展电阻显微镜）

扩展电阻分布成像

 按样 ¥3000.0 /样/图 详情
STRESS 薄膜应力/翘曲测试

薄膜应力、晶圆翘曲测量

 按样 ¥1000.0 /片/模式 详情
OTHER 其他设备

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